一、工作原理方面的区别
纯水设备采用反渗透技术，其工作原理是对水施加一定的压力，使水分子和离子态的矿物质元素通过反渗透膜。溶解在水中的绝大部分无机盐（包括重金属）、有机物以及细菌、病毒等无法透过反渗透膜，从而使渗透过的纯净水和无法渗透过的浓缩水严格的分开。
超纯水设备是在反渗透技术的基础上，添加了离子交换和终端处理技术，有些还有深度离子除盐、超滤和UV光氧化作用设备。尽可能che底地去处tian然水中常见的可溶性无机物、有机物、颗粒物、微生物、可溶性气体等杂质。
二、产水水质方面的区别
纯水设备的出水水质，一般达到新版的《生活饮用水新标准》即可。
超纯水设备的产水水质有比较严格的要求，一般根据应用行业的特殊性，电导率需达12MQ、15MQ、17MQ、18MQ、18.2MQ等不同级别的超纯水。
三、采用工艺方面的区别
纯水设备采用反渗透工艺，对水施加的压力，水通过孔径只有0.0001微米反渗透膜，过滤掉水中0.02-0.4或0.4-1微米的病毒、细菌等杂质。
超纯水设备常用的工艺方法有蒸馏法、反渗透法、离子交换法、过滤法、吸附法、紫外氧化法等，将水的纯化过程大致分为4大步，预处理（初级净化）、反渗透（生产出纯水），离子交换（可生产出18.2MQ.cm超纯水）和终端处理（生产出符合特殊要求的超纯水）。
超纯水设备工业超纯水设备，超纯水是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水。
超纯水,是一般工艺很难达到的程度。